全國(guó)銷(xiāo)售電話(huà)：
18014968763
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產(chǎn)品概覽
在很多超純氣應(yīng)用，諸如半導(dǎo)體工業(yè)中，氣體中殘余的濕氣對(duì)于過(guò)程處理的正常運(yùn)作至關(guān)重要。一直以來(lái)，對(duì)濕氣的持續(xù)追蹤測(cè)量都是個(gè)難點(diǎn)，需要用到復(fù)雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術(shù)。然而密析爾儀表目前則向市場(chǎng)推出了簡(jiǎn)單的、經(jīng)濟(jì)的、相當(dāng)有效的方案，用來(lái)在線(xiàn)測(cè)量露點(diǎn)值，下限低驚人的-120℃(相當(dāng)于不到 1ppbV）
Pura 變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點(diǎn)傳感器生產(chǎn)和校驗(yàn)的專(zhuān)業(yè)經(jīng)驗(yàn)，結(jié)合標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)化的材料和制造流程，打造出的適用于半導(dǎo)體制造行業(yè)和超純氣體應(yīng)用的低價(jià)位變送器。
產(chǎn)品特點(diǎn)
? 測(cè)量下限-120℃露點(diǎn) (1 ppbV)
? 測(cè)量穩(wěn)定，重復(fù)性好
? 高度集成的采樣裝置
? 模擬和數(shù)字輸出
? 安裝簡(jiǎn)便
? VCR過(guò)程接口
? 設(shè)計(jì)緊湊小巧
? 顯示/報(bào)警單元可選
技術(shù)參數(shù)
傳感器 | |
傳感器類(lèi)型 | 密析爾陶瓷濕度傳感器 |
量程 | -120~-40℃露點(diǎn) (校驗(yàn)到-100~-40℃) |
精度 | ±1℃ -40 ~ -60℃; |
分辨率 | 0.1℃ -40 ~ -79.9℃; |
壓力 | *低 10-9 torr; 24 MPa |
氣體流量 | 1 ~ 5 Nl/min |
電氣 | |
電源 | 通常 24 VDC, *低10 V~ *高28 V, *大電流25 mA |
輸出 | 4-20 mA 輸出, 對(duì)應(yīng)范圍可由專(zhuān)用軟件調(diào)整, 調(diào)整量程從 1~80℃(標(biāo)配提供) |
輸出出錯(cuò)狀態(tài) | 標(biāo)準(zhǔn)輸出出錯(cuò)信息如下: 23 mA = 傳感器故障; 20 mA = 超上限; 4 mA = 超下限 |
機(jī)械性能 | |
傳感器套筒 | 不銹鋼, 0.1-0.2 Ra μm 電鍍內(nèi)拋光 |
氣路連接端口 | Premium 或 OEM 型: ?" m VCR 接口 |
安裝配置 | Premium 或 OEM 型: 120.00mm 長(zhǎng), 氣路端口的端面密封. 無(wú)需預(yù)留管路空隙 |
尺寸 | Premium 或 OEM 型: 120 x 35 x 150mm |
重量 | Premium 或 OEM 型: 450g |
包裝 | Pura: 雙層包裝, 惰性氣體填充密封 |
聯(lián)系人：程傳洋
電話(huà)：0510-85059416
手機(jī)：18014968763
傳真：0510-85055043
郵箱：smg_sumag@163.com
地址：無(wú)錫市新吳區(qū)招商城路99號(hào)永宏大廈522室
服務(wù)熱線(xiàn)
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